臺面：必須使用防靜電臺墊（通常為三層結(jié)構(gòu)，表面為耗散層，底層為導電層），并將其通過腕帶接地插孔可靠接地。

接地：工作臺應(yīng)有獨立的接地端子，方便操作者佩戴腕帶和設(shè)備接地。

防靜電腕帶：操作敏感器件時必須佩戴，并通過限流電阻可靠連接到工作臺接地端子。

防靜電工作服/大褂、鞋/鞋套：避免化纖衣物，穿著專用的防靜電織物，將人體靜電導入地板系統(tǒng)。

防靜電手套/指套：直接接觸敏感元器件時使用。

所有進入實驗室的精密儀器（如SEM、AFM、光譜儀）、工作臺、機柜、推車等金屬設(shè)備外殼，都必須使用黃綠雙色接地線連接到實驗室的共用接地網(wǎng)，實現(xiàn)等電位。